半導(dǎo)體潔凈室是半導(dǎo)體制造過(guò)程中非常重要的一環(huán)，其主要作用是為半導(dǎo)體制造提供高度潔凈的環(huán)境，以確保制造過(guò)程中的微粒和細(xì)菌不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成污染。半導(dǎo)體潔凈室通常采用先進(jìn)的空氣過(guò)濾技術(shù)和靜電控制技術(shù)，以確保車(chē)間內(nèi)的空氣質(zhì)量和靜電水平符合要求。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)性支柱產(chǎn)業(yè)。因此，現(xiàn)代化半導(dǎo)體的生產(chǎn)對(duì)環(huán)境要求非常嚴(yán)格，工廠要在全年四季的氣候條件下，生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境，特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響，其對(duì)濕度的精度以及空調(diào)系統(tǒng)的配置都要嚴(yán)格把控。